Matchmaking @ 18th Silicon Saxony Day

11 Jun 2024 | Dresden, Germany

ProductUpdated on 10 June 2024

CleanSurF Box Cleaner automatable

Patrick Hirt

Director Sales & Marketing at AP&S International GmbH

Donaueschingen, Germany

About

CleanSurF ermöglicht sowohl die manuelle wie auch automatische Beladung und überzeugt durch hohe Ladekapazität. Diese Reinigungsanlage bietet einen effizienten Durchsatz und attraktive TcO Werte.

Hauptvorteile

  • Optimale Reinigungsleistung dank des neuentwickelten Düsenkonzepts mit über 50 Düsen (DIW- sowie N2-Düsen)

  • Attraktive TcO-Werte – sehr niedriger Verbrauch von Wasser und Stickstoff sowie extrem kompakte Stellfläche von 3 m²

  • Hohe Ladekapazität von bis zu 12 x 12 Zoll FOUPs pro Run

  • Neuste Softwaretechnologie inklusive HMI nach Semi II-Standard

  • Maximale Flexibilität – für die manuelle und automatische Beladung optimiert.

  • Praktische Schleusenfunktion – Beladung reinraumseitig und Zugang zum Servicebereich grauraumseitig möglich. Optional ist durch eine zweite Prozesskammertür eine Schleusenfunktion für eine Reinraum-, Grauraum-Trennung möglich.

Boxen

  • Alle gängigen Trägertypen, Boxen, SMIF-Pods und FOUPS.

Technische Merkmale

  • Ausgeklügeltes Boxhaltersystem für den einfachen und schnellen Austausch verschiedener Box- und Carrier-Typen

  • Einfache Handhabung inkl. Laden und Entladen

  • Prozesskontrolle über neueste Softwaretechnologie

  • Geeignet für Inhouse-Tracking-System

  • Optimierte Anlagenstellfläche: CB II 1560 x 1900 x 2510 mm; CB III 1865 x 1685 x 2860 mm

Looking for

  • Supplier

Applies to

  • Robotics & Automation
  • Hardware

Organisation

AP&S International GmbH

Small and medium enterprise

Donaueschingen, Germany